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經濟型高分辨率紫外波前傳感器Phasics

經濟型高分辨率紫外波前傳感器Phasics

簡要描述:
SID4 UV 具有低至 190 nm 的高分辨率波前感應功能,非常適合紫外光學測試、紫外激光表征(用于光刻或半導體應用)以及鏡頭和晶圓的表面檢查。SID4 UV經濟型高分辨率紫外波前傳感器Phasics

更新時間:2025-06-08

訪問量:633

廠商性質:生產廠家

生產地址:法國

波前傳感器是一種用于測量光學波前的計量工具。雖然“波前傳感器"一詞涵蓋各種儀器,但它具體指獨立運行而不需要參考光束的波前測量設備,例如 Fizeau 或 Twyman-Green 干涉儀。制造波前傳感器的主要技術是 Shack-Hartmann 和橫向剪切干涉法。Phasics 的波前傳感器基于四邊形剪切干涉技術。

一、SID4 UV波前傳感器介紹

SID4 UV 具有低至 190 nm 的高分辨率波前感應功能,非常適合紫外光學測試、紫外激光表征(用于光刻或半導體應用)以及鏡頭和晶圓的表面檢查。

● 非常高的分辨率 – 250 × 250 采樣

● 高靈敏度 – 2 nm RMS

● 經濟實惠的紫外波前測量解決方案

二、SID4 UV波前傳感器參數

型號SID4 UV
品牌Phasics
波長190 - 400 nm
靶面7.8 x 7.8 mm2
空間分辨率26 µm
相位和強度采樣300 x 300
采集率> 15 fps
分辨率(相位)2 nm RMS
準確度15 nm RMS
實時處理頻率2 fps (full resolution)*
接口Giga Ethernet
尺寸(WxHxL)74 x 71 x 91 mm3
重量~600g

三、應用

激光行業

半導體

天文學

航空航天

AR/VR

SID4 UV經濟型高分辨率紫外波前傳感器Phasics

SID4 UV經濟型高分辨率紫外波前傳感器Phasics

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